تمرکز پرتو الکترونی در میدان مغناطیسی یک منبع تبخیر پرتو الکترونی خمیده

Authors

  • حافظی, فاطمه گروه پژوهشی فناوری خلأ، سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
  • زواریان, علی اصغر گروه پژوهشی فناوری خلأ، سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
  • سلحشور, مصطفی گروه پژوهشی فناوری خلأ، سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
Abstract:

In this paper, the vacuum film deposition through electron beam evaporation has been reviewed and the effect of magnetic field on the operation of this system has been explained. Then, the magnetic field distribution due to magnetic components configuartion of a commercial evaporation source with 270-degree electron beam gun (manufactured by Sharif University Branch of ACECR), has been simulated by means of a finite element software, ANSYS. The simulation result was verified by comparing with the results obtained from measurement by Hall Effect sensor. Furthermore, by using the ray-tracing capability of the software, the capability of the magnetic lens of this device for electron beam focusing has been investigated. The predicted position of the electron beam spot on the target is in good agreement with experimental observations  

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

طراحی منبع پرتو الکترونی برای تبخیر

تکنولوژی پرتو الکترونی کاربردهای بسیار مهمی در زمینه های مختلف مانند جوش کاری، تبخیر، لایه نشانی، ذوب، اسپکترومترها و میکروسکوپ های الکترونی دارد. تفنگ الکترونی ابزار بسیار سودمندی برای تولید پرتو الکترونی می باشد و با کانونی کردن آن توسط لنزهای مغناطیسی و الکتریکی، توزیعی کانونی از پرتو روی هدف به دست می آید. در تفنگ های الکترونی استفاده شده در تولید بخار، فشار محفظه کمتر از 5-10 تور بوده و ان...

استفاده از پرتو الکترونی تحت تاثیر میدان مغناطیسی برای بهینه سازی الگوی دوز تجویزی در بیماران تحت رادیوتراپی

زمینه و هدف: در رادیوتراپی برای درمان توده های سرطانی بسته به عمق و نوع تومور اغلب از پرتوهای فوتونی یا الکترونی استفاده می­شود که به ناچار بافتهای سالم در مسیر اشعه مقداری دوز دریافت می­کند. از آنجا که میدان مغناطیسی موجب انحراف در مسیر پرتو الکترونی می­شود می­توان از این خاصیت استفاده نمود و واگذاری دوز از بافت­های سالم را به طرف بافتهای تومورال هدایت کرد. روش بررسی:...

full text

وابستگی رسانش الکترونی یک نانو‌حلقه کربنی به محل اتصال هادی‌ها و میدان مغناطیسی اعمالی

In this paper, we studied the electronic conductance of a carbon nanoring using Green’s function method at the tight-binding approach for different positions of contacts in the presence and absence of magnetic field. The results show that as the conductors approch in the nanoring, the tunneling conductance in the gap region improves. Moreover, applying the magnetic field dramatically influences...

full text

طراحی و ساخت منبع تبخیر الکترونی

در این پایان نامه گزارشی از مراحل مختلف طراحی، ساخت و بالیدن یک سامانه برای تبخیر مواد و لایه نشانی در خلأ ارائه می شود. هدف پایان نامه استفاده از بمباران الکترونی به جای روش های مقاومتی برای تبخیر مواد دیرگداز که باعث واکنش با مواد مختلف، تبخیر مواد ترکیبی (غیر خالص) و در نتیجه آلودگی لایه های نشانده می شدند، بوده است. این سامانه از سه بخش مهم منبع الکترونی، منبع تغذیه ولتاژ بالا برای شتاب داد...

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


Journal title

volume 17  issue 2

pages  263- 268

publication date 2017-08

By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.

Keywords

No Keywords

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023